PRCBE 深圳展芯科技 LAB探针台

LAB系列探针台-模块化结构设备、全功能型探针台

产品应用：
DC、RF、mmW测试
纳米级电子器件测试，微机电测试LAB DS.pdf
高功率测试

产品特点：
    LAB系列为真正意义上的模块化结构设计探针台，让用户可*围绕实际应用，选择较适合的功能配置，确保较佳成本解决方案的同时满足用户将来的升级需求。
    LAB系列可定制的模块为：载物台及其移动基座模块、探针座放置平台移动模块和显微镜及其移动基座模块。用户可自行配置功能模块的同时，还可根据自身需求增加探针卡夹具、激光器、微腔体屏蔽系统、半自动控制系统、全自动控制系统、高温测试系等，满足更多的应用需求。
LAB系列还为用户提供了一个高刚性和稳定性的测试系统。载物台移动基座和探针台底座一体化的结构设计，显着地提高了载物台的结构刚性和稳定性。显微镜支撑为龙门结构，可应用于高放大倍率的光学系统，**光学系统的稳定性。探针座放置平台采用高刚性结构设计，**平台板整体的垂直应力形变在5μm/10N以内，拥有较高的稳定性以满足**探针座的定位要求。

载物台(常规晶圆载物台）	
  尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" 
  材质：不锈钢
  平整度：≤±2.5μm
  真空区域*：0，2"，4"，6"环形吸附**
  真空控制：手动控制，独立真空区域
  真空驱动方式：真空泵
  载物台电性能：载物台信号导通，可选择接地或接信号
*根据载物台尺寸有所不同，如载物台尺寸为12"，则真空吸附区域为0，2"，4"，6"，8"，12"。
** 除环形吸附外，还可选微孔吸附式载物台，以适用于厚度在50μm或以内的晶圆。
	
载物台移动基座	
  X-Y轴行程范围*：6"*6"(152.4mm*152.4mm)，可选更大行程
  精度：1μm
  R轴粗调角度范围：360°
  R轴细调角度范围：±9°
  微调精度：0.0001°/deg
  Z轴细调行程范围：13mm
  细调精度：1μm
  Z轴快升行程：0~6mm, 可调
  Z轴往复精度：<1μm
  载物台**拖出行程：100mm
*根据载物台尺寸不同，行程有所不同，如载物台为12"，则X-Y移动行程为12"*12"。
	
探针座放置平台	
  材质：钢，表面沉镍处理
  平台板尺寸*：可放置8个CM50或4个RF50探针座
  平台板至载物台高度：1.496”(38mm) 
  探针座兼容性：可兼容磁力或真空吸附底座的探针座
  Z轴细调行程范围：45mm
  Z轴快升行程：350μm 
  Z轴往复精度：<1μm
*此处为6"探针台可放置的探针座数量 ，更大尺寸探针台详询客服人员。
显微镜移动基座	
  X-Y轴行程范围：2"*2"(50mm* 50mm)
  X-Y轴精度：1μm
  调焦行程：2"(50mm)
  精度：1μm
  Z轴粗调行程：100mm
  气动升降行程：40mm

光学系统	
  类型：金相显微镜，可选体视或单筒显微镜
  光学放大倍数*：20X-2000X
* 根据所选物镜或显微镜放大倍数不同会有不同的光学放大倍数，详细请咨询客服人员。
其它信息	
  台体尺寸：724mm*606mm*610mm（W*D*H）
  重量：120kg

加热载物台(可选项）	
  尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" 
  温度范围：室温~300℃
  温控精度*：0.5℃（典型值）
  温度均匀性：0.5℃@6"载物台
  加热时间：<6min（室温~300℃）
标准配置的加热台为自然冷却，可选风冷或水冷套件。	

RF载物台(可选项）	
  尺寸：6"(152.4mm)，可选更大尺寸，如8"或12" 
  校准片载物台：2个（独立真空控制）
  尺寸：配套CS-5等尺寸的校准片
  校准片载物台角度调节范围：7°
  材质：不锈钢
  平整度：≤±2.5μm
  真空驱动方式：真空泵

其它扩展配件(可选项）	
  探针卡夹具：可根据探针卡尺寸定制，应用于多点或自动测试
  激光器：1064nm，532nm，355nm，三个波段自由配置，对芯片线路进行切割修改。
  半自动控制系统：实现晶圆小批量半自动测试需求

设备环境要求	
  电源：220V±10%
  真空：-8bar
  压缩空气：0.6MPa